Структурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействии

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСмынтына, Валентин Андреевич
dc.contributor.authorКулинич, О. А.
dc.contributor.authorГлауберман, Михайло Абович
dc.contributor.authorЧемересюк, Г. Г.
dc.contributor.authorЯцунский, И. Р.
dc.contributor.authorСвиридова, О. В.
dc.contributor.authorГлауберман, Михаил Аббович
dc.contributor.authorGlauberman, Mykhailo A.
dc.date.accessioned2012-10-16T12:11:07Z
dc.date.available2012-10-16T12:11:07Z
dc.date.issued2007
dc.descriptionУкраїнська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса) Тези доповiдей, 17-22 червня 2007 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса), НАН України , [та iн.] ; гол. ред.: Валентин Андрiйович Сминтина . – Одеса : Астропринт, 2007 .uk
dc.description.abstractИзучить процессы дефектообразоваиия в кремнии при легировании и окислении невозможно не рассматривая поведение макродефектов при температурных воздействиях.Макродефекты в кремнии при температурных воздействиях могут служить источниками зарождения точечных и структурных дефектов,изменяющих время жизни неосновных носителей зарядов и время свободного пробега,что,в свою очередь,влияет на параметры кремниевые структур и готовых приборов.Исходя из этого целью данного изучения является исследование структурно-полиморфных изменений макродефектов наиболее встречающихся в кремнии,таких как дефекты слоистой неоднородности,дендриты и двойниковые ламели.uk
dc.identifier.citationУкраїнська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв(УНКФН-3)uk
dc.identifier.urihttps://dspace.onu.edu.ua/handle/123456789/2628
dc.language.isoruuk
dc.titleСтруктурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействииuk
dc.typeArticleuk
Файли
Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
433+.PDF
Розмір:
751.77 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити
Зібрання
Статті та доповіді ФМФІТ