Method of stencilling in technology of devices on surfaces acoustic waves
Дата
2017
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Abstract. The method of acoustoabsorber putting on acoustic ducts of devices on the surface acoustic waves, basing on stencilling which used at manufacturing of thick-film hybrid integrated circuits is described.
The block diagram of technological process of acoustoabsorber deposition is given. Features of the separate operations are discussed.
Анотація. У роботі описано метод нанесення акустопоглинача на звукопроводи пристроїв на поверхневих акустичних хвилях, що базується на трафаретному друці, який використовується при виготовленні товстоплівкових гібридних інтегральних схем. Приведено структурну схему технологічного процесу нанесення акустопоглинача. Обговорюються особливості окремих операцій
Аннотация. В работе описан метод нанесения акустопоглотителя на звукопроводы устройств на поверхностных акустических волнах, базирующийся на трафаретной печати, использующейся при изготовлении толстопленочных гибридных интегральных схем. Приведена структурная схема технологического процесса нанесения акустопоглотителя. Обсуждаются особенности отдельных операций.
Анотація. У роботі описано метод нанесення акустопоглинача на звукопроводи пристроїв на поверхневих акустичних хвилях, що базується на трафаретному друці, який використовується при виготовленні товстоплівкових гібридних інтегральних схем. Приведено структурну схему технологічного процесу нанесення акустопоглинача. Обговорюються особливості окремих операцій
Аннотация. В работе описан метод нанесения акустопоглотителя на звукопроводы устройств на поверхностных акустических волнах, базирующийся на трафаретной печати, использующейся при изготовлении толстопленочных гибридных интегральных схем. Приведена структурная схема технологического процесса нанесения акустопоглотителя. Обсуждаются особенности отдельных операций.
Опис
Ключові слова
acoustoelectronic device on surface acoustic waves, acoustoabsorber, stencilling, акустоелектронний пристрій на поверхневих акустичних хвилях, акустопоглинач, трафаретний друк, акустоэлектронные устройство на поверхностных акустических волнах, акустопоглотитель, трафаретная печать
Бібліографічний опис
Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies