Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/928
Title: Исследование структуры ионнолегированного кремния после импульсного лазерного отжига
Other Titles: Дослідження структури іоннолегованого кремнію після імпульсного лазерного відпалу
Investigation of the structure of ion-implantation silicon after the puls laser annealing
Authors: Терлецкая, Л. Л.
Копыт, Николай Харламович
Голубцов, Вячеслав Васильевич
Терлецька, Л. Л.
Копит, М. Х.
Голубцов, В. В.
Terletskaya, L. L.
Kopyt, Mykola Kh.
Golubtsov, V. V.
Citation: Физика аэродисперсных систем
Issue Date: 2004
Publisher: Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова
Series/Report no.: ;Вып. 41. - С. 147 - 151.
Abstract: Представлены результаты исследования влияния когерентного излучения на степень активации примеси в ионнолегированных структурах кремния. Рассмот- рены физические процессы, происходящие в приповерхностной области образ- цов кремния при воздействии лазерного отжига. Показана возможность суще- ственного улучшения электрофизических характеристик кремния путем оптими- зации параметров лазерного излучения. Представлено результати дослідження впливу когерентного випроміню- вання на ступінь активації домішки в іоннолегованих структурах кремнію. Розглянуто фізичні процеси, що відбуваються у приповерхневій області зра- зків кремнію за умов дії лазерного відпалу. Показано можливість суттєвого поліпшення елекрофізичних характеристик кремнію шляхом оптимізації параметрів лазерного випромінювання. Results of study of the influence of coherent radiation on the degree of impurity activation in the ion-implantation silicon structures are presented. There are considered physical proceses in surface region of silicon sample at the laser annealing. It is shown the possibility of improvement of the electrophysicals characteristics of silicon by means optimisation of lasers emission parameters.
Description: Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова, кафедра теплофизики. - Одесса, 1969. –
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/928
Appears in Collections:Фізика аеродисперсних систем

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
fas_41_147-151+.pdf141.32 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.