Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/7984
Title: | About performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors based on silicon mos structures with a nanodimensional silicon oxide |
Other Titles: | Про лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих мон – структур з нанорозмірним оксидним шаром |
Authors: | Fastykovsky, Pavel P. Glauberman, Mykhailo A. Фастиковський, Павло Петрович Глауберман, Михайло Абович Глауберман, Михаил Аббович Фастыковский, Павел Петрович |
Citation: | Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова |
Keywords: | humidity sensor performance linearity capacitance MOS structure сенсор вологості робоча характеристика лінійність ємність МОН – структура |
Series/Report no.: | ;Т. 12, № 4. |
Abstract: | The purpose of this work is to establish the reason for the performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors, based on silicon MOS structures with a nanodimensional silicon oxide being in depletion or weak inversion modes. Метою роботи є встановлення причини лінійності робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН – структур з нанорозмірним оксидним шаром, що знаходяться у режимах збіднення або слабкої інверсії. |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/7984 |
Appears in Collections: | Сенсорна електроніка і мікросистемні технології |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.