Свойства фосфида каллия в процессе лазерного легирования атомами индия

Анотація
Опис
Сенсорна електронiка та мiкросистемнi технологiї (СЕМСТ-4) = SENSORS ELECTRONICS AND MICROSYSTEMS TECHNOLOGY” ) = (SEMST-4) : 4-та Мiжнар. наук.-техн. конф., 28 черв.–2 лип. 2010 р.; Одеса : тези доповідей / НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова ; ОНУ iм. I. I. Мечникова ; Українське фізичне товариство [та ін.]. – Одеса : Астропринт, 2010. – укр., рос., англ.
Ключові слова
Бібліографічний опис
Сенсорна електронiка та мiкросистемнi технологiї (СЕМСТ-4) = SENSORS ELECTRONICS AND MICROSYSTEMS TECHNOLOGY” ) = (SEMST-4)
DOI
ORCID:
УДК