The stat and prospects of the sensor electronics based on acoustoelectronic phenomena
Дата
2004
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
In this paper the opportunities acoustoelectronic phenomena use for new generation sensors creation which
correspond to requirements of essential increase their metrological characteristics and intellectualization are
considered.
The achieved results sensors constructed on a basis of acoustoelectronic effects having place at surface acoustic
waves propagation researches and development are analyzed.
The results the new construction perspective principles researches of such sensors class are given. The
constructive-technological decisions of some physical sensors and gas sensors are described. The possible
development application fields are specified and the basic characteristics of some sensors are resulted. В статье с позиции необходимости создания нового поколения сенсоров, отвечающих требованиям
существенного повышения их метрологических характеристик и интеллектуализации , рассмотрены
возможности использования для этой цели акустоэлектронных явлений.
Проанализированы достигнутые результаты исследований и разработок сенсоров, построенных на
основе акустоэлектронных эффектов имеющих место при распространении поверхностных акустических
волн.
Приведены результаты исследований новых перспективных принципов построения такого класса
сенсоров. Описаны конструктивно-технологические решения некоторых сенсоров физических величин и сенсоров газа. Указаны возможные области применения разработок и
приводятся основные технические характеристики некоторых сенсоров. У статті з позиції необхідності створення нового покоління сенсорів, що відповідають вимогам
істотного підвищення їх метрологічних характеристик і інтелектуалізації, розглянуті можливості
використання для цієї мети акустоелектронних явищ.
Проаналізовано досягнуті результати досліджень і розробок сенсорів, побудованих на основі
акустоелектронних ефектів, що мають місце при поширенні поверхневих акустичних хвиль.
Приведено результати досліджень нових перспективних принципів побудови сенсорів такого
класу. Описано конструктивно-технологічні рішення деяких сенсорів фізичних величин і сенсорів
газу. Зазначено можливі області застосування розробок і приводяться основні технічні
характеристики деяких сенсорів.
Опис
Ключові слова
acoustic phenomena, surface acoustic waves, sensor, film structures, film structures, акустоелектронні явища, поверхнево акустичні хвилі, сенсор, плівкові структури, адсорбція, акустоэлектронные явления, поверхностные акустические волны, сенсор, пленочные структуры, адсорбция
Бібліографічний опис
Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies