Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/536
Title: The stat and prospects of the sensor electronics based on acoustoelectronic phenomena
Other Titles: Состояние и перспективы сенсорной электроники на основе акустоэлектронных явлений
Стан і перспективи сенсорної електроніки на основі акустоелектронних явищ
Authors: Lepikh, Yaroslav I.
Лепих, Ярослав Ильич
Лепіх, Ярослав Ілліч
Citation: Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies
Issue Date: 2004
Publisher: Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Keywords: acoustic phenomena
surface acoustic waves
sensor
film structures
film structures
акустоелектронні явища
поверхнево акустичні хвилі
сенсор
плівкові структури
адсорбція
акустоэлектронные явления
поверхностные акустические волны
сенсор
пленочные структуры
адсорбция
Series/Report no.: ;№ 1
Abstract: In this paper the opportunities acoustoelectronic phenomena use for new generation sensors creation which correspond to requirements of essential increase their metrological characteristics and intellectualization are considered. The achieved results sensors constructed on a basis of acoustoelectronic effects having place at surface acoustic waves propagation researches and development are analyzed. The results the new construction perspective principles researches of such sensors class are given. The constructive-technological decisions of some physical sensors and gas sensors are described. The possible development application fields are specified and the basic characteristics of some sensors are resulted. В статье с позиции необходимости создания нового поколения сенсоров, отвечающих требованиям существенного повышения их метрологических характеристик и интеллектуализации , рассмотрены возможности использования для этой цели акустоэлектронных явлений. Проанализированы достигнутые результаты исследований и разработок сенсоров, построенных на основе акустоэлектронных эффектов имеющих место при распространении поверхностных акустических волн. Приведены результаты исследований новых перспективных принципов построения такого класса сенсоров. Описаны конструктивно-технологические решения некоторых сенсоров физических величин и сенсоров газа. Указаны возможные области применения разработок и приводятся основные технические характеристики некоторых сенсоров. У статті з позиції необхідності створення нового покоління сенсорів, що відповідають вимогам істотного підвищення їх метрологічних характеристик і інтелектуалізації, розглянуті можливості використання для цієї мети акустоелектронних явищ. Проаналізовано досягнуті результати досліджень і розробок сенсорів, побудованих на основі акустоелектронних ефектів, що мають місце при поширенні поверхневих акустичних хвиль. Приведено результати досліджень нових перспективних принципів побудови сенсорів такого класу. Описано конструктивно-технологічні рішення деяких сенсорів фізичних величин і сенсорів газу. Зазначено можливі області застосування розробок і приводяться основні технічні характеристики деяких сенсорів.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/536
Appears in Collections:Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
45-58.pdf160.19 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.