Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4758
Title: Неоднородность приповерхностных слоев гетерогенных систем после термической обработки
Other Titles: Неоднорідністьть приповерхневих шарів гетерогенних систем після термічного відпалу
Ingomogeneityin near-surface layers of heterogeneous systems after thermal processing
Authors: Терлецкая, Л. Л.
Копыт, Николай Харламович
Калиниченко, Л. Ф.
Терлецька, Л. Л.
Копит, М. Х.
Калініченко, Л. Ф.
Голубцов, Вячеслав Васильевич
Terletskaya, L. L.
Kopyt, Mykola Kh.
Kalinichenko, L. F.
Golubtsov, B. B.
Citation: Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса, 2012
Issue Date: 2012
Publisher: Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова
Keywords: слоистая неоднородность
арсенида галлия
термический отжиг
процесс жидкофазной эпитаксии
малонапряженные эпитаксиальные структуры
шарувата неоднорідність
арсеніду галлію
відпал
процес рідкофазової enimakciï
малонапруженні епітаксичні структури
layered inhomogeneity
semi-insulating GaAs substrates
thermal processing
LPE is established
nonstrained epitaxial structures
Series/Report no.: ;Вып. 49; С. 27-30
Abstract: Установлена существенная слоистая неоднородность в приповерхностных областях полуизолирующего арсенида галлия после термического отжига при температурах, близких процессу жидкофазной эпитаксии. Показаны возможности оптимизации параметров подложек для получения на их основе малонапряженных эпитаксиальных структур с улучшенными функциональными свойствами.
Визначено суттєву шарувату неоднорідність у приповерхневих областях пластин напівізолюючого арсеніду галлію nicля відпалy при температурах, близьких до процесу рідкофазової enimakciï. Показано можливість оптимізації napaмempiв підкладинок для отримання на ïx ocнoвi малонапруженних епітаксичних структур з покращеними функціональними властивостями.
Considerable layered inhomogeneity in the near-surface region of semi-insulating GaAs substrates after thermal processing at the temperature LPE is established. The possibility of substrates parameters optimization is shown to obtain nonstrained epitaxial structures with improved functional properties.
Description: Физика аэродисперсных систем: межвед. научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса, 2012
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4758
Appears in Collections:Фізика аеродисперсних систем

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
27-30а.pdf313.75 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.