DSpace О системе DSpace
україн русск eng
[Зарегистрироваться]
 

Repository at Odesa I.Mechnikov National University >
Фізичний факультет >
"Фізика аеродисперсних систем" >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4758

Название: Неоднородность приповерхностных слоев гетерогенных систем после термической обработки
Другие названия: Неоднорідністьть приповерхневих шарів гетерогенних систем після термічного відпалу
Ingomogeneityin near-surface layers of heterogeneous systems after thermal processing
Авторы: Терлецкая, Л. Л.
Копыт, Н. Х.
Калиниченко, Л. Ф.
Терлецька, П. Л.
Копит, М. Х.
Калініченкоченко, Л. Ф.
Голубцов, В. В.
Terletskaya, L. L.
Kopyt, N. Kh.
Kalinichenko, L. F.
Golubtsov, B. B.
Ключевые слова: слоистая неоднородность
арсенида галлия
термический отжиг
процесс жидкофазной эпитаксии
малонапряженные эпитаксиальные структуры
шарувата неоднорідність
арсеніду галлію
відпал
процес рідкофазової enimakciï
малонапруженні епітаксичні структури
layered inhomogeneity
semi-insulating GaAs substrates
thermal processing
LPE is established
nonstrained epitaxial structures
Дата публикации: 2012
Издатель: Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова
Источник: Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса, 2012
Серия/номер: ;Вып. 49; С. 27-30
Краткий осмотр (реферат): Установлена существенная слоистая неоднородность в приповерхностных областях полуизолирующего арсенида галлия после термического отжига при температурах, близких процессу жидкофазной эпитаксии. Показаны возможности оптимизации параметров подложек для получения на их основе малонапряженных эпитаксиальных структур с улучшенными функциональными свойствами.
Визначено суттєву шарувату неоднорідність у приповерхневих областях пластин напівізолюючого арсеніду галлію nicля відпалy при температурах, близьких до процесу рідкофазової enimakciï. Показано можливість оптимізації napaмempiв підкладинок для отримання на ïx ocнoвi малонапруженних епітаксичних структур з покращеними функціональними властивостями.
Considerable layered inhomogeneity in the near-surface region of semi-insulating GaAs substrates after thermal processing at the temperature LPE is established. The possibility of substrates parameters optimization is shown to obtain nonstrained epitaxial structures with improved functional properties.
Описание: Физика аэродисперсных систем: межвед. научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса, 2012
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4758
Располагается в коллекциях:"Фізика аеродисперсних систем"

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
27-30а.pdf313,75 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
View Statistics

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.

 

п╞пҐпЄп╣п╨я│ я├п╦я┌п╦я─п╬п╡п╟пҐп╦я▐ DSpace Software Copyright © 2002-2005 MIT and Hewlett-Packard - Обратная связь