Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4118| Title: | Деградація параметрів кремнієвих сенсорів |
| Authors: | Сминтина, Валентин Андрійович Кулініч, О. А. Глауберман, Михаил Аббович Глауберман, Михайло Абович Glauberman, Mykhailo A. |
| Citation: | 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р. |
| Issue Date: | 2008 |
| Keywords: | напівпровідниковий кремній нанорозмірні елементи мікророзмірні елементіи дефекти вихідного кремнію |
| Abstract: | На думку відомих фахівців, працюючих в провідних світових науково-виробничих підприємствах з виробництва елементів електронної техніки напівпровідниковий кремній, завдяки своїм електрофізичним, механічним та технологічним властивостям, буде залишатися основою для виробництва напівпровідникових пристроїв ще більш ніж 100 років. В наш час перехід від мікророзмірних елементів до нанорозмірних елементів пред’являє підвищені вимоги до якості напівпровідникових матеріалів. |
| Description: | 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.: Тези доповідей. - Одеса: Астропринт, 2008.- 400 с. |
| URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4118 |
| Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.