Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4118
Title: Деградація параметрів кремнієвих сенсорів
Authors: Сминтина, Валентин Андрійович
Кулініч, О. А.
Глауберман, Михаил Аббович
Глауберман, Михайло Абович
Glauberman, Mykhailo A.
Citation: 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.
Issue Date: 2008
Keywords: напівпровідниковий кремній
нанорозмірні елементи
мікророзмірні елементіи
дефекти вихідного кремнію
Abstract: На думку відомих фахівців, працюючих в провідних світових науково-виробничих підприємствах з виробництва елементів електронної техніки напівпровідниковий кремній, завдяки своїм електрофізичним, механічним та технологічним властивостям, буде залишатися основою для виробництва напівпровідникових пристроїв ще більш ніж 100 років. В наш час перехід від мікророзмірних елементів до нанорозмірних елементів пред’являє підвищені вимоги до якості напівпровідникових матеріалів.
Description: 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.: Тези доповідей. - Одеса: Астропринт, 2008.- 400 с.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4118
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
360.pdf37.85 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.