Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4106
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorLepikh, Yaroslav I.-
dc.contributor.authorGlushkov, A. V.-
dc.contributor.authorKhetselius, O. Yu.-
dc.contributor.authorLoboda, A. V.-
dc.contributor.authorЛепіх, Ярослав Ілліч-
dc.contributor.authorЛепих, Ярослав Ильич-
dc.date.accessioned2013-12-17T09:52:55Z-
dc.date.available2013-12-17T09:52:55Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.citation3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.uk
dc.identifier.urihttp://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4106-
dc.description3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.: Тези доповідей. - Одеса: Астропринт, 2008.- 400 с.uk
dc.description.abstractSelective photo-ionization and photo-dissociation of molecules method is supposed to be very much perspective method for cleaning materials from molecular admixtures and other applications. For example, the laser cleaning mono-silan is of a great interest for obtaining a poor Si in the semiconductor industry.uk
dc.language.isoenuk
dc.publisherАстропринтuk
dc.relation.ispartofseries;С. 281-
dc.subjectphotoexcitation of moleculesuk
dc.subjectphotodissociation of moleculesuk
dc.subjectcleansing semiconductor materialsuk
dc.titleLASER PHOTOEXCITATION AND PHOTODISSOCIATION OF MOLECULES: OPTIMIZED SCHEMES FOR CLEANSING SEMICONDUCTOR MATERIALS FROM ADMIXTURESuk
dc.typeArticleuk
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
281.pdf12.12 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.