Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4106
Title: LASER PHOTOEXCITATION AND PHOTODISSOCIATION OF MOLECULES: OPTIMIZED SCHEMES FOR CLEANSING SEMICONDUCTOR MATERIALS FROM ADMIXTURES
Authors: Lepikh, Yaroslav I.
Glushkov, A. V.
Khetselius, O. Yu.
Loboda, A. V.
Лепіх, Ярослав Ілліч
Лепих, Ярослав Ильич
Citation: 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.
Issue Date: 2008
Publisher: Астропринт
Keywords: photoexcitation of molecules
photodissociation of molecules
cleansing semiconductor materials
Series/Report no.: ;С. 281
Abstract: Selective photo-ionization and photo-dissociation of molecules method is supposed to be very much perspective method for cleaning materials from molecular admixtures and other applications. For example, the laser cleaning mono-silan is of a great interest for obtaining a poor Si in the semiconductor industry.
Description: 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.: Тези доповідей. - Одеса: Астропринт, 2008.- 400 с.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4106
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
281.pdf12.12 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.