Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Фастиковський, Павло Петрович | - |
dc.contributor.author | Роговська, Е. Т. | - |
dc.contributor.author | Fastykovsky, Pavel P. | - |
dc.contributor.author | Фастыковский, Павел Петрович | - |
dc.date.accessioned | 2013-12-17T08:00:27Z | - |
dc.date.available | 2013-12-17T08:00:27Z | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.citation | 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р. | uk |
dc.identifier.uri | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089 | - |
dc.description.abstract | Створення сучасних датчиків механічних величин потребує розробки нових типів чутливих елементів, які б були сумісні з кремнієвою інтегральною технологією. Тому, дослідження структур метал - нанорозмірний оксид кремнію - кремній, які мають високу тензочутливість. | uk |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.subject | тензочутливість | uk |
dc.subject | інверсійні мон-структури | uk |
dc.subject | оксидний шар | uk |
dc.title | Тензочутливість інверсійних мон-структур з нанорозмірним оксиднимшаром | uk |
dc.type | Article | uk |
Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.