Тензочутливість інверсійних мон-структур з нанорозмірним оксиднимшаром
Вантажиться...
Файли
Дата
2008
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Створення сучасних датчиків механічних величин потребує розробки нових типів чутливих елементів, які б були сумісні з кремнієвою інтегральною технологією. Тому, дослідження структур метал - нанорозмірний оксид кремнію - кремній, які мають високу тензочутливість.
Опис
Ключові слова
тензочутливість, інверсійні мон-структури, оксидний шар
Бібліографічний опис
3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.