Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089
Title: | Тензочутливість інверсійних мон-структур з нанорозмірним оксиднимшаром |
Authors: | Фастиковський, Павло Петрович Роговська, Е. Т. Fastykovsky, Pavel P. Фастыковский, Павел Петрович |
Citation: | 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р. |
Issue Date: | 2008 |
Keywords: | тензочутливість інверсійні мон-структури оксидний шар |
Abstract: | Створення сучасних датчиків механічних величин потребує розробки нових типів чутливих елементів, які б були сумісні з кремнієвою інтегральною технологією. Тому, дослідження структур метал - нанорозмірний оксид кремнію - кремній, які мають високу тензочутливість. |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089 |
Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.