Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089
Title: Тензочутливість інверсійних мон-структур з нанорозмірним оксиднимшаром
Authors: Фастиковський, Павло Петрович
Роговська, Е. Т.
Fastykovsky, Pavel P.
Фастыковский, Павел Петрович
Citation: 3-я Міжнародна науково-технічна конференція. Сенсорна елетроніка і мікросистемні технології (СЕМСТ-3). Україна, Одеса, 2-6 червня 2008 р.
Issue Date: 2008
Keywords: тензочутливість
інверсійні мон-структури
оксидний шар
Abstract: Створення сучасних датчиків механічних величин потребує розробки нових типів чутливих елементів, які б були сумісні з кремнієвою інтегральною технологією. Тому, дослідження структур метал - нанорозмірний оксид кремнію - кремній, які мають високу тензочутливість.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/4089
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
202.pdf39.26 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.