Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/3644
Title: | ИЗГОТОВЛЕНИЕ МОНОДИСПЕРСНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОРОШКОВ SiC И Si3N4 С ПРИМЕНЕНИЕМ СО2-ЛАЗЕРА |
Other Titles: | ВИГОТОВЛЕННЯ МОНОДИСПЕРСНИХ КЕРАМІЧНИХ ПОРОШКІВ SiC I Si3N4 3 ВИКОРИСТАННЯМ СО2-ЛАЗЕРА FABRICATION OF CERAMIC POWDERS SiC AND Si3N4 USING C02-LASER |
Authors: | Курмашев, Ш. Д. Софронков, О. Н. Бугаева, Т. Н. Лавренова, Т. И. Дзюба, Н. С. Софронков, А. Н. Бугайова, Т. М. Лавренова, Т. І. Kurmashev, Sh. D. Sofronkov, A. N. Bugaeva, T. N. Lavrenova, T. I. Dzyuba, N. S. |
Citation: | Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | Одеський національний університет |
Keywords: | керамика карбид кремния нитрид кремния кераміка карбід кремнію нітрид кремнію ceramics silicon carbide silicon nitride |
Series/Report no.: | ;Т. 3(9), № 4. |
Abstract: | Рассмотрен процесс получения порошков SiC и Si3N4 с применением С02-лазера. Технология отличается тем, что используемые реагентные газы - силан и аммиак (для получения нитрида кремния) или этилен (для получения карбида кремния) пропускаются через луч С02-лазера. Получены мелкодисперсные, содержащие сферические частицы одинакового размера (монодисперсные), высокочистые, неагломерированные порошки SiC и Si3N4. Запропоновано процес отримання порошків S ІС і Si3N4 з використанням С02-лазера. Технологія відрізняється тим, що реагентні гази, що використовуються, - силан і аміак (для отримання нітриду кремнію) або етилен (для отримання карбіду кремнію) пропускаються через промінь С02-лазера. При цьому виходить високочистий, неагломерований, дрібнодисперсний порошок, що містить сферичні частинки однакового розміру (монодисперсний). The process of obtaining powders of SiC and Si3N4 with C02-laser has been studied. The technology differs in that the used reagent gases - silane and ammonia (for silicon nitride) or ethylene (for silicon carbide) are passed through the C02-laser beam. Fine agglomerated powders of high purity SiC and Si3N4 containing spherical particles of the same size (monodispersed) have been obtained |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/3644 |
Appears in Collections: | Сенсорна електроніка і мікросистемні технології |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
SEMST_04.03.76-80+.pdf | 239.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.