Вплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAs
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Напрямок нанотехнології з розробки мікро- та нано-електромеханічних систем, який стрімко розвивається останнім часом, вимагає кращих параметрів для характеристики геометрії і властивостей поверхні напівпровідників. При цілеспрямованому формуванні систем із заданими властивостями необхідно визначити важелі впливу і керування кількісним і фазовим складом, морфологією і рельєфом поверхні, які є найважливішими чинниками функціональності. Якість поверхні механічних та електронних виробів з точки зору її мікрогеометрії у багатьох випадках визначає їх надійність і довговічність при експлуатації.
Метою цієї роботи є дослідження механізмів впливу сульфідної обробки на морфологію поверхні арсеніду, перевірка гіпотези щодо залежності шорсткості поверхні від напрямку вимірювання після можливої поверхневої реконструкції ґратки внаслідок обробки.
У роботі розглянуто переваги та недоліки різних методів дослідження нанооб’єктів, зокрема розбір різних класів скануючої зондової мікроскопії, принцип роботи та характеристики атомно-силової мікроскопії. Наведені та детально пояснені параметри і причини виникнення поверхневих неоднорідностей різного масштабу. Проаналізовано можливості різних програм для аналізу виміряних значень параметрів, які дають інформацію про особливості морфології поверхні.
Опис
Ключові слова
105 прикладна фізика та наноматеріали, пластина n-GaAs, сульфідна обробка, установка зонда, Gwyddion
Бібліографічний опис
Бурко, Я. П. Вплив режимів сульфідної обробки на характеристики поверхні n-GaAs : дипломна робота бакалавра. – Одеса, 2021. – 38 с.