ПРИСТАВКА МНОГОКРАТНОГО НАРУШЕННОГО ПОЛНОГО ВНУТРЕННЕГО ОТРАЖЕНИЯ

Abstract

Композиционные полупроводниковые структуры на базе "стекло - Bi2Ru2O7, RuO2, Ag-Pd" используются в качестве резистивных и проводниковых элементов гибридных интегральных схем и солнечных батарей. Инфракрасная (ИК) спектроскопия применяется, главным образом, при исследовании газов, а также тех жидкостей и твердых тел, которые прозрачны в ИК - области спектра. Структуры стекло - Bi2Ru2O7, RuO2, Ag-Pd непрозрачны для ИК - излучения. Однако, для получения толстопленочных структур, которые обладают стабильными электрофизическими параметрами необходимо достаточно глубокое изучение структурно-фазовых превращений,протекающих под действием температурных режимов отжига. Получение экспериментальных данных о природе подобных процессов встречает ряд трудностей, связанных с одной стороны, с недостаточной чувствительностью традиционных физико-химических методов исследования, с другой - сложностью новых методов. Поскольку ИК-метод является неразрушающим, относительно простым и достаточно чувствительным была разработана приставка многократного нарушенного полного внутреннего отражения (МНПВО) к спектрографу ИКС - 14а, которая позволила исследовать тонкие слои металлов и пленки композиционных материалов