СВОБОДНЫЙ ЗОНД ИЗ МОНОДИСПЕРСНЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ В КАЧЕСТВЕ ДАТЧИКА СОСТОЯНИЯ ПЛАЗМЫ
Вантажиться...
Дата
2012
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одесский национальный университете имени И. И. Мечникова
Анотація
Диагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Его несомненными преимуществами являются: большое число одновременно измеряемых параметров (температура и концентрация электронов, концентрации положительных и отрицательных ионов, функция распределения электронов по энергиям, потенциал плазмы); возможность проведения автоматизированных измерений при относительно низкой стоимости аппаратуры и т.д. Анализ фундаментальных параметров плазмы, полученных в технологических условиях, позволяет оптимизировать источники плазмы на конкретные технологические применения.
Опис
"Дисперсные системы",XXV междн.науч.конф. материалы,17-21 сентября 2012 г. - Одесса, 2012
Ключові слова
свободный зонд, датчики
Бібліографічний опис
"Дисперсные системы" XXV междн.науч.конф.Материалы конференции