Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/3223
Title: СВОБОДНЫЙ ЗОНД ИЗ МОНОДИСПЕРСНЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ЧАСТИЦ В КАЧЕСТВЕ ДАТЧИКА СОСТОЯНИЯ ПЛАЗМЫ
Authors: Копыт, Н. Х.
Семенов, К. И.
Копыт, Н. Н.
Citation: "Дисперсные системы" XXV междн.науч.конф.Материалы конференции
Issue Date: 2012
Publisher: Одесский национальный университете имени И. И. Мечникова
Keywords: свободный зонд
датчики
Series/Report no.: ;С.134-135
Abstract: Диагностика плазмы играет важную роль в процессе разработки и оптимизации плазменного технологического оборудования. Наиболее подходящим методом диагностики плазмы реакторов является метод электрических зондов. Его несомненными преимуществами являются: большое число одновременно измеряемых параметров (температура и концентрация электронов, концентрации положительных и отрицательных ионов, функция распределения электронов по энергиям, потенциал плазмы); возможность проведения автоматизированных измерений при относительно низкой стоимости аппаратуры и т.д. Анализ фундаментальных параметров плазмы, полученных в технологических условиях, позволяет оптимизировать источники плазмы на конкретные технологические применения.
Description: "Дисперсные системы",XXV междн.науч.конф. материалы,17-21 сентября 2012 г. - Одесса, 2012
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/3223
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
134-135+.pdf117.12 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.