Дослідження та реалізація методів виявлення дефектів мікролітографічних проектів на основі нейромережевних підходів
Вантажиться...
Дата
2018
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Робота присвячена розробці програмних засобів на тему «Дослідження та реалізація методів виявлення дефектів мікролітографічних проектів на основі нейромережевих підходів».
Мета роботи – розробка та реалізація підходу для виявлення та класифікації дефектних областей в мікролітографічних проектних рішеннях.
Об’єктом дослідження в межах даної роботи є мікролітографічні проекти у форматі GDSII з розміщеною в них графічною інформацією.
Предмет дослідження – дефекти, що виникають у процесі виготовлення мікрочіпів, а саме експонування маски на напівпровідникову підкладку.
У результаті роботи було розроблено програмні модулі, що реалізують витягнення попередньо виділених у GDSII файлі дефектних областей, спрощену симуляцію процесу мікролітографії та кодування змісту GDSII-проектів у вигляді спеціалізованих структур – супер-пікселів. На базі отриманих результатів було проведено суб’єктивну класифікацію критичних областей і побудовано навчальну вибірку для згорткового нейромежевого класифікатору.
Опис
Ключові слова
6.050102 комп’ютерна інженерія, мікролітографія, Pattern Matching, Machine Learning, мікрочіпи, МЛ-проекти з розміщеною в них графічною інформацією
Бібліографічний опис
Михаленко, В. В. Дослідження та реалізація методів виявлення дефектів мікролітографічних проектів на основі нейромережевних підходів : дипломна робота магістра / В. В. Михаленко. – Одеса, 2018. – 80 с.