Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2628
Title: | Структурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействии |
Authors: | Смынтына, Валентин Андреевич Кулинич, О. А. Глауберман, Михайло Абович Чемересюк, Г. Г. Яцунский, И. Р. Свиридова, О. В. Глауберман, Михаил Аббович Glauberman, Mykhailo A. |
Citation: | Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв(УНКФН-3) |
Issue Date: | 2007 |
Abstract: | Изучить процессы дефектообразоваиия в кремнии при легировании и окислении невозможно не рассматривая поведение макродефектов при температурных воздействиях.Макродефекты в кремнии при температурных воздействиях могут служить источниками зарождения точечных и структурных дефектов,изменяющих время жизни неосновных носителей зарядов и время свободного пробега,что,в свою очередь,влияет на параметры кремниевые структур и готовых приборов.Исходя из этого целью данного изучения является исследование структурно-полиморфных изменений макродефектов наиболее встречающихся в кремнии,таких как дефекты слоистой неоднородности,дендриты и двойниковые ламели. |
Description: | Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса) Тези доповiдей, 17-22 червня 2007 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса), НАН України , [та iн.] ; гол. ред.: Валентин Андрiйович Сминтина . – Одеса : Астропринт, 2007 . |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2628 |
Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.