Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2628
Title: Структурно - полиморфные изменения макродефектов в кремнии при температурном воздействии
Authors: Смынтына, Валентин Андреевич
Кулинич, О. А.
Глауберман, Михайло Абович
Чемересюк, Г. Г.
Яцунский, И. Р.
Свиридова, О. В.
Глауберман, Михаил Аббович
Glauberman, Mykhailo A.
Citation: Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв(УНКФН-3)
Issue Date: 2007
Abstract: Изучить процессы дефектообразоваиия в кремнии при легировании и окислении невозможно не рассматривая поведение макродефектов при температурных воздействиях.Макродефекты в кремнии при температурных воздействиях могут служить источниками зарождения точечных и структурных дефектов,изменяющих время жизни неосновных носителей зарядов и время свободного пробега,что,в свою очередь,влияет на параметры кремниевые структур и готовых приборов.Исходя из этого целью данного изучения является исследование структурно-полиморфных изменений макродефектов наиболее встречающихся в кремнии,таких как дефекты слоистой неоднородности,дендриты и двойниковые ламели.
Description: Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса) Тези доповiдей, 17-22 червня 2007 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (3; 2007; Одеса), НАН України , [та iн.] ; гол. ред.: Валентин Андрiйович Сминтина . – Одеса : Астропринт, 2007 .
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2628
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
433+.PDF751.77 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.