Электронные свойства и адсорбционная чувствительность пористого кремния
Вантажиться...
Файли
Дата
2002
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Астропринт
Анотація
В докладе представлены результаты исследований электронных и газо-чувствительных свойств пористого кремния. Образцы пористого кремния (ПК) были получены методом анодного электрохимического травления разных марок кристаллического кремния в водном растворе фтористо-водородной кислоты.Использовали дополнительно ультразвуковую обработку материала.На поверхность ПК напыляли газо-прозрачные контакты щелевого типа из алюминия.
Опис
Тези доповiдей, 10-14 червня 2002 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (1; 2002; Одеса) – Одеса : Астропринт, 2002
Ключові слова
Бібліографічний опис
Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв