Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2624
Title: | Электронные свойства и адсорбционная чувствительность пористого кремния |
Authors: | Вашпанов, Юрий Александрович Смынтына, Валентин Андреевич |
Citation: | Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв |
Issue Date: | 2002 |
Publisher: | Астропринт |
Series/Report no.: | ;С.40-41 |
Abstract: | В докладе представлены результаты исследований электронных и газо-чувствительных свойств пористого кремния. Образцы пористого кремния (ПК) были получены методом анодного электрохимического травления разных марок кристаллического кремния в водном растворе фтористо-водородной кислоты.Использовали дополнительно ультразвуковую обработку материала.На поверхность ПК напыляли газо-прозрачные контакты щелевого типа из алюминия. |
Description: | Тези доповiдей, 10-14 червня 2002 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (1; 2002; Одеса) – Одеса : Астропринт, 2002 |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2624 |
Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
40-41+.PDF | 1.74 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.