Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2624
Title: Электронные свойства и адсорбционная чувствительность пористого кремния
Authors: Вашпанов, Юрий Александрович
Смынтына, Валентин Андреевич
Citation: Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв
Issue Date: 2002
Publisher: Астропринт
Series/Report no.: ;С.40-41
Abstract: В докладе представлены результаты исследований электронных и газо-чувствительных свойств пористого кремния. Образцы пористого кремния (ПК) были получены методом анодного электрохимического травления разных марок кристаллического кремния в водном растворе фтористо-водородной кислоты.Использовали дополнительно ультразвуковую обработку материала.На поверхность ПК напыляли газо-прозрачные контакты щелевого типа из алюминия.
Description: Тези доповiдей, 10-14 червня 2002 р / Українська наукова конференцiя з фiзики напiвпровiдникiв (1; 2002; Одеса) – Одеса : Астропринт, 2002
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2624
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
40-41+.PDF1.74 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.