Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23390
Title: | Исследование объёмных неоднородностей в эпитаксиальных структурах арсенида галлия |
Authors: | Терлецкая, Л. Л. Копыт, Николай Харламович Голубцов, Вячеслав Васильевич |
Citation: | "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса) Тези доповідей, 28 черв.-2 лип., 2010 р. / "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології (СЕМСТ-4)", міжнар. науково-техн. конф. (4; 2010; Одеса); гол. ред. В. А. Сминтина; ОНУ ім. І.І. Мечникова [та ін.]. – Одеса : Астропринт, 2010. – 354 с. |
Issue Date: | 2010 |
Publisher: | Астропринт |
Keywords: | объёмные неоднородности в композиционных системах уменьшение деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктур развитием технологий для создания новых приборов интегральная сенсорная электроники |
Abstract: | Проблема объёмных неоднородностей в композиционных системах и приграничных областях слоёв приобрела особое значение в связи с интенсивным поиском возможностей уменьшения деградации полупроводниковых гомо- и гетероструктур, развитием технологий для создания новых приборов. В области интегральной сенсорной электроники на основе арсенида галлия по причине одностороннего подхода при оценке дефектности эпитаксиальных слоёв (по дислокациям), отсутствия соответствующего оборудования и методик для изучения объёмных неоднородностей всё ещё не удалось решить эту проблему ни на качественном, ни на количественном уровнях. |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23390 |
Appears in Collections: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.