Про лінійність робочої характеристики ємнісних сенсорів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН - структур з нанорозмірним оксидним шаром
Вантажиться...
Файли
Дата
2014
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
Кремнієві МОН - структури (метал - оксид - напівпровідник) з нанорозмірним пористим оксидним шаром дуже перспективні для виготовлення на їх основі ємнісних сенсорів вологості газових середовищ, так як мають високу вологочутливість, малий гістерезис та лінійність робочої характеристики. Механізми вологочутливості структур були розкрити раніше, однак причини лінійності робочої характеристики з’ясовані не були.
Опис
Ключові слова
робоча характеристика, ємнісні сенсори, газові середовища, оксидний шар
Бібліографічний опис
6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с.