Основы высоколокальной СВЧ сенсорики
Вантажиться...
Дата
2014
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
СВЧ сенсорика исходит из радиоволновых методов контроля диэлектрических материалов и сред. Особое развитие в 1960-1990 годах получили безэлктродные методы и техника контроля параметров полупроводниковых материалов . Однако, на современном этапе возникла необходимость существенного увеличения локальности такого контроля. Исходя из принципа Аббе, сформулированного в физической оптике, классический подход в проектировании СВЧ чувствительных элементов (первичных измерительных преобразователей) исключает субмикронную локальность.
Опис
Ключові слова
сенсорика, ближнеполевая микроскопия, апертура, накопительная область, характеристики преобразования
Бібліографічний опис
6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с.