Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23340
Назва: | Основы высоколокальной СВЧ сенсорики |
Автори: | Гордиенко, Ю. Е. Лепих, Ярослав Ильич Проказа, А. М. |
Бібліографічний опис: | 6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с. |
Дата публікації: | 2014 |
Видавництво: | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова |
Ключові слова: | сенсорика ближнеполевая микроскопия апертура накопительная область характеристики преобразования |
Короткий огляд (реферат): | СВЧ сенсорика исходит из радиоволновых методов контроля диэлектрических материалов и сред. Особое развитие в 1960-1990 годах получили безэлктродные методы и техника контроля параметров полупроводниковых материалов . Однако, на современном этапе возникла необходимость существенного увеличения локальности такого контроля. Исходя из принципа Аббе, сформулированного в физической оптике, классический подход в проектировании СВЧ чувствительных элементов (первичных измерительных преобразователей) исключает субмикронную локальность. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23340 |
Розташовується у зібраннях: | Статті та доповіді ФМФІТ |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
27-28.pdf | 195.42 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.