Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23340
Title: Основы высоколокальной СВЧ сенсорики
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Лепих, Ярослав Ильич
Проказа, А. М.
Citation: 6-та Міжнародна наукова-технічна конференція "Сенсорна електроніка та мікросистемні технології"(СЕМСТ-6) (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів), Україна, Одеса, 29 вересня - 3 жовтня 2014 р. : тези доповідей : Конф. присвяч.150-й річниці Одеського нац. ун-ту ім. І.І. Мечникова і 100-річчю науки про напівпровідники / гол. ред.: В. А. Сминтина; редкол.: О. Є. Бєляєв [та ін.]; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова, Одеський нац. ун-т ім. І.І. Мечникова. – Одеса : Астропринт, 2014. – 265 с.
Issue Date: 2014
Publisher: Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Keywords: сенсорика
ближнеполевая микроскопия
апертура
накопительная область
характеристики преобразования
Abstract: СВЧ сенсорика исходит из радиоволновых методов контроля диэлектрических материалов и сред. Особое развитие в 1960-1990 годах получили безэлктродные методы и техника контроля параметров полупроводниковых материалов . Однако, на современном этапе возникла необходимость существенного увеличения локальности такого контроля. Исходя из принципа Аббе, сформулированного в физической оптике, классический подход в проектировании СВЧ чувствительных элементов (первичных измерительных преобразователей) исключает субмикронную локальность.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/23340
Appears in Collections:Статті та доповіді ФМФІТ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
27-28.pdf195.42 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.