Сенсор водню на основі акустоелектронного елементу і шаруватих структур.

Вантажиться...
Ескіз
Дата
2011
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Астрапринт
Анотація
Наводяться результати розробки і дослідження мікроелектронного сенсора водню, побудованого на основі акустоелектронного елемента на поверхневих акустичних хвилях і шаруватих структур з двох матеріалів, один з яких виконує функцію молекулярного сита.
Приводятся результаты разработки и исследования микроэлектронного сенсора водорода, построенного на основе акустоэлектронного элемента на поверхностных акустических волнах и слоистых структурах из двух материалов, один из которых выполняет функцию молекулярного сита.
Results of development and research of a microelectronic hydrogen sensor constructed on the basis of an element on surface acoustic waves and layered structures from two materials one of which execute function of a molecular sieve are presented
Опис
Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies : наук.-техн. журнал. - Одеса : Астропринт,2011 - T.2(8)3,- укр.
Ключові слова
сенсор водню, поверхневі акустичні хвилі, шаруваті структури, молекулярне, сенсор водорода, поверхностные акустические волны, слоистые структуры, молекулярное сито, hydrogen sensor, surface acoustic waves, layered structures, a molecular sieve
Бібліографічний опис
Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem
DOI
ORCID:
УДК