Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2239
Title: Особенности улучшения структурно-чувствительных параметров сенсоров на основе гетерогенных дисперсных систем
Other Titles: Особливості поліпшування структурно-чутливих параметрів сенсорів на основі гетерогенних дисперсних систем
The features of structure-sensitives parameters improvement of heterogeneous dispersion system-base sensors
Authors: Терлецкая, Л. Л.
Копыт, Николай Харламович
Голубцов, Вячеслав Васильевич
Терлецька, Л. Л.
Копит, М. Х.
Голубцов, В. В.
Terletskaya, L. L.
Kopyt, Mykola Kh.
Golubtsov, V. V.
Citation: Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса,2010
Issue Date: 2010
Publisher: Одесский национальный университет им.И.И. Мечникова
Keywords: сенсор
технологические режимы
процесс
плотность
сенсор
технологічний режим
процес
щільність
Series/Report no.: ;вып.47, С.154-159
Abstract: Рассмотрены особенности получения подложек GaAs с улучшенными структурными электрофизическими параметрами для сенсоров. Розработаны оптимальные технологические режимы процессов изотермической обработки и обработки исходных пластин в поле градиента температур, способствуюих значительному снижению плотности дислокаций и уменьшению объемной доли проводящих неоднородностей. Комплексное применение разработаных методов предназначено для оптимизации технологии получения подложек GaAs в производстве сенсоров и повышения их надежности.
Розглянуто особливості отримання підкладинок GaAs з поліпшеними структурними та електрофізичними параметрами для сенсорів. Розроблено оптимальні режими процесів ізотермічної оброботки та обробки пластин у полі градієнта температур, що сприяють значному зменшенню щільності дислокацій та об'ємної частки провідних неоднорідностей. Комплексне застосування розроблених методів призначено для оптимізації технології отримання підкладинок GaAs у виробництві сенсорів з підвищеною надійністю
Description: Физика аэродисперсных систем: межвед.научный сборник / Одесский национальный университет имени И.И. Мечникова. - Одесса,2010
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/2239
Appears in Collections:Фізика аеродисперсних систем

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
154-159.pdf118.64 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.