ОСОБЛИВОСТІ СТВОРЕННЯ ХВИЛЕВОДНИХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКІВ ПЕРЕМІЩЕНЬ НА ПАХ
Вантажиться...
Дата
2008
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Астропринт
Анотація
У роботі наведені результати досліджень і розробки вимірювальних перетворювачів для
датчиків лінійних і кутових переміщень на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) на основі
п’єзоелектричної плівки оксиду цинку (ZnО) з використанням плівкових хвилеводів.
Досліджувалися малоапертурні зустрічно-штирьові перетворювачі (ЗШП) ПАХ і плівков
і концентратори рупорного типу.
Даються оцінки отриманим результатам досліджень. The results of investigation and development of measuring converters for gauges of linear and
angular movings on the surface acoustic waves ( SAW) on the basis of piezoelectric zinc oxide (ZnO)
film with the use of film waveguides are given in the article.
SAW lowaperture opposing-pin converters (OPC) and horn type film concentrators were investigated.
Investigation received results estimations are given. В работе приведены результаты исследований и разработки измерительных преобразователей
для датчиков линейных и угловых перемещений с использованием пленочных волноводов
на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на основе пьезоелектрической пленки
оксида цинка (ZnO).
Исследовались малоапертурные встречно-штыревые преобразователи (ВШП) ПАВ и
пленочные концентраторы рупорного типа.
Даются оценки полученным результатам исследований.
Опис
Сенсорна електронiка i мiкросистемнi технологiї = Sensor Electronics and Microsystem Technologies : наук.-техн. журнал. - Одеса : Астропринт - 2008.
Ключові слова
поверхневі акустичні хвилі, хвилеводні структури, п’єзоелектричні плівки ZnО, surface acoustic waves, waveguides structures, ZnO piezoelectric film, поверхностные акустические волны, волноводные структуры, пьезоэлектрические пленки ZnO
Бібліографічний опис
Sensor Electronics and Microsystem Technologies