ОСОБЛИВОСТІ СТВОРЕННЯ ХВИЛЕВОДНИХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКІВ ПЕРЕМІЩЕНЬ НА ПАХ

Abstract

У роботі наведені результати досліджень і розробки вимірювальних перетворювачів для датчиків лінійних і кутових переміщень на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) на основі п’єзоелектричної плівки оксиду цинку (ZnО) з використанням плівкових хвилеводів. Досліджувалися малоапертурні зустрічно-штирьові перетворювачі (ЗШП) ПАХ і плівков і концентратори рупорного типу. Даються оцінки отриманим результатам досліджень. The results of investigation and development of measuring converters for gauges of linear and angular movings on the surface acoustic waves ( SAW) on the basis of piezoelectric zinc oxide (ZnO) film with the use of film waveguides are given in the article. SAW lowaperture opposing-pin converters (OPC) and horn type film concentrators were investigated. Investigation received results estimations are given. В работе приведены результаты исследований и разработки измерительных преобразователей для датчиков линейных и угловых перемещений с использованием пленочных волноводов на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на основе пьезоелектрической пленки оксида цинка (ZnO). Исследовались малоапертурные встречно-штыревые преобразователи (ВШП) ПАВ и пленочные концентраторы рупорного типа. Даются оценки полученным результатам исследований.