Особенности деградации адсорбционной чувствительности тонких пленок Sn02
Вантажиться...
Дата
2003
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
Номер ISSN
Номер E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одесский национальный университет имени И. И. Мечникова
Анотація
Исследована деградация параметров тонких пленок S n 0 2, полученных методом электроспреипиролиза. Измерялось сопротивление образцов при различных условиях Исследовалось
влияние температуры и природы адсорбционного газа на сопротивление пленок. остроены деградационные характеристики и проведен рентгеноструктурный анализ образцов в исходном состоянии и после отжига и эксплуатации в различных атмосферах, .замечено изменение структуры и элементного состава пленок после их температурной обработки в атмосфере различных газов.
Опис
Ключові слова
тонкие пленки, электроспреипиролиз, адсорбционная чувствительность