Please use this identifier to cite or link to this item:
http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/16498
Title: | Структурные и люминесцентные свойства пористого кремния, полученного методом лазерной абляции |
Authors: | Гевелюк, Сергей Анатольевич Дойчо, Игорь Константинович Прокопович, Людвиг Петрович Савин, Д. П. |
Citation: | Фотоэлектроника = Photoelectronics |
Issue Date: | 1999 |
Publisher: | Одеський національний університет імені І. І. Мечникова |
Keywords: | пористый кремний метод лазерной абляции |
Series/Report no.: | ;Вып. 8. |
Abstract: | Разработан метод получения пористого кремния при помощи лазерной абляции, состоящий в радиационном воздействии луча импульсного УФ лазера, сфокусированного на поверхности кремниевой пластины, которая может находиться в различных газовых средах. Образующийся на поверхности пластины пористый слой содержит кремниевые квантоворазмерные кластеры и их окисленные формы. Исследована структура полученных слоёв и измерены их спектры фотолюминесценции. Показано, что полученный пористый материал подобен слоям пористого кремния, создаваемым методом электрохимического травления, что обеспечивает новые технологические возможности при производстве оптоэлектронных приборов. |
URI: | http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/16498 |
Other Identifiers: | УДК 621.315.592 |
Appears in Collections: | Photoelectronics |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
с.18-21.pdf | 216.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.