Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/12632
Title: Silicon nanopillars forming and covering by Zn and Ti oxides for solar energy applications and biosensorics
Other Titles: Формування кремнієвих нано-пілларсів та покриття їх оксидами цинку та титану для використання в сонячній енергетиці та біосенсориці
Формирование кремниевых нано-полларсов и покрытия их оксидами цинка и титана для использования в солнечной энергетике и биосенсорике
Authors: Brytavskyi, Yevhen V.
Tereshchenko, Alla V.
Myndrul, Valerii B.
Pavlenko, Mykola V.
Smyntyna, Valentyn A.
Бритавський, Євген Вікторович
Терещенко, Алла Володимирівна
Миндрул, Валерій Борисович
Павленко, Микола Миколайович
Сминтина, Валентин Андрійович
Бритавский, Евгений Викторович
Терещенко, Алла Владимировна
Мындрул, Валерий Борисович
Павленко, Николай Николаевич
Смынтына, Валентин Андреевич
Citation: Фотоэлектроника = Photoelectronics
Issue Date: 2017
Publisher: Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Keywords: nanopillars
atomic layer deposition
nanocomposites
наностовбчик
атомно-шарове осадження
нанокомпозит
наностолбик
атомно-слоевое осаждение
нанокомпозит
Series/Report no.: ;№ 26.
Abstract: The work is focused on technology and characterization issues of silicon pillar nanostructures in combination with metal oxides, such as ZnO and TiO2, for various applications in field of biosensor and solar energy. The metal-assisted chemical etching method (MACE) modified with latex nanobeads lithography and spin-coating technique, was used to fabricate the uniform silicon nanopillar arrays. Atomic layer deposition technique (ALD) which is utilized for formation of oxide layers displays uniform coverage of the arrays and provides thin film formation independently on surface peculiarities. Therefore, it can be applied both for planar samples and 3D patterned substrates with porous media.
Робота присвячена технології і характеризації кремнієвих наноструктур в поєднанні з покриттям оксидами металів для різних застосувань в біосенсориці і сонячній енергетиці. У статті описується спосіб неелектролітичного травлення, модифікованого використанням шару наносфер на підкладці, сформованого методом поверхневого центрифугування. Метод атомно-шарового осадження, який використовувався для формування оксидів на наноструктурах, демонструє утворення рівномірного шару і не залежить від геометрії підкладки, тому він може застосовуватися як для плоских зразків, так і для підкладок з тривимірною структурою і з пористими шарами.
Работа посвящена технологии и характеризации кремниевых наноструктур в сочетании с оксидами металлов для различных применений в биосенсорике и солнечной энергетике. В статье описывается способ неэлектролитического травления, модифицированного использованием слоя наносфер на подложке, сформированного методом поверхностного центрифугирования. Метод атомно-слоевого осаждения, который использовался для формирования оксидов на наноструктурах, демонстрирует образование равномерного слоя и не зависит от геометрии подложки, поэтому он может применяться как для плоских образцов, так и для подложек с трехмерной структурой и с пористыми слоями.
URI: http://dspace.onu.edu.ua:8080/handle/123456789/12632
Other Identifiers: УДК 73.40.Gk, Lq; 73.61.Ga
Appears in Collections:Photoelectronics

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
62-67.pdf1.58 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.