Адсорбционная чувствительность пористого кремния. Обзор.
Вантажиться...
Дата
2001
Науковий керівник
Укладач
Редактор
Назва журналу
ISSN
E-ISSN
Назва тому
Видавець
Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
Анотація
В огляді розглядаються різноманітні фізичні механізми адсорбції чутливості зразків макро-, мікро- і нанопоруватого кремнію на основі вивчення структурних, хімічних, електричних властивостей і морфології поверхні при різноманітних технологіях виготовлення і легування.
В обзоре рассматриваются различные физические механизмы адсорбционной чувствительности образцов макро-, микро- и нанопористого кремния на основе изучения структурных, химических, электрических свойств и морфологии поверхности при различных технологиях изготовления и легирования.
The review are considered the different physical mechanisms of adsorption sensitivity of of macro-, micro- and nanoporous silicon samples on the base of study of structural, chemical, electrical properties and morphology of surface surface at different technologies of manufacturing and doping.
В обзоре рассматриваются различные физические механизмы адсорбционной чувствительности образцов макро-, микро- и нанопористого кремния на основе изучения структурных, химических, электрических свойств и морфологии поверхности при различных технологиях изготовления и легирования.
The review are considered the different physical mechanisms of adsorption sensitivity of of macro-, micro- and nanoporous silicon samples on the base of study of structural, chemical, electrical properties and morphology of surface surface at different technologies of manufacturing and doping.
Опис
Ключові слова
огляд, обзор, review, кремній, кремний, silicon, адсорбційна чутливість зразків, адсорбционная чувствительность образцов, adsorption sensitivity samples
Бібліографічний опис
Вісник Одеського національного університету = Odesa National University Herald